毛細(xì)管柱分析氫氣中氯化氫含量，非甲烷總烴，變壓器油，多氯聯(lián)苯，植物油，6號(hào)溶劑殘留，粗苯，三苯，二甲苯，過氧化物，三甲胺，醫(yī)療器械，環(huán)氧乙烷，增塑劑，塑化劑，口罩，EO

毛細(xì)管柱分析氫氣中氯化氫含量
毛細(xì)管柱分析氫氣中氯化氫含量 詳細(xì)信息：

固定相：甲基聚硅氧烷

型號(hào)：HH-1

規(guī)格：30m*0.53mm*1.5um

毛細(xì)管柱分析氫氣中氯化氫含量 譜圖：

半導(dǎo)體材料(尤其是集成電路工業(yè))是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心,是國(guó)民經(jīng)濟(jì)現(xiàn)代化與信息化建設(shè)的先導(dǎo)與支柱產(chǎn)業(yè).半導(dǎo)體硅單晶材料則是半導(dǎo)體工業(yè)的重要的主體功能材料,多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料,是當(dāng)代人工智能、自動(dòng)控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料,是為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料,回收氫氣作為多晶硅生產(chǎn)的重要原料還原劑和載流氣體,回收氫氣的品質(zhì)直接影響著多晶硅的品質(zhì). 多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)主要為改良西門子法和硅烷法.西門子法通過氣相沉積的方式生產(chǎn)柱狀多晶硅,為了提高原料利用率和環(huán)境友好,在前者的基礎(chǔ)上采用了閉環(huán)式生產(chǎn)工藝即改良西門子法.它是由德國(guó)Siemens公司發(fā)明并于1954年申請(qǐng)了1965年左右實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化.經(jīng)過幾十年的應(yīng)用和發(fā)展,西門子法不斷完善,先后出現(xiàn)了代、第二代和第三代,第三代多晶硅生產(chǎn)工藝即改良西門子法,它在第二代的基礎(chǔ)上增加了還原尾氣干法回收系統(tǒng)、SiCl4回收氫化工藝,實(shí)現(xiàn)了完全閉環(huán)生產(chǎn),是西門子法生產(chǎn)高純多晶硅技術(shù)的新技術(shù).硅在西門子法多晶硅生產(chǎn)流程內(nèi)部的循環(huán)利用. 干法回收氫中的總碳,氧氣,氮?dú)獾?氧與硅的親和力很強(qiáng),在高溫工作條件下易氧化生成二氧化硅,在多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生加層現(xiàn)象;總碳會(huì)造成多晶硅成品中碳含量升高,所以回收氫氣的品質(zhì)控制有重要意義.干法回收系統(tǒng)回收的氫氣中氯化氫含量高,則在多晶硅生產(chǎn)過程的前期出現(xiàn)倒?fàn)t現(xiàn)象,后期可能出現(xiàn)磷超標(biāo)的現(xiàn)象,嚴(yán)重影響多晶硅的品質(zhì);氯化氫的存在,若遇到水分會(huì)造成管道腐蝕,降低設(shè)備壽命,對(duì)回收氫氣中氯化氫含量的有效控制,對(duì)于提高多晶硅品質(zhì)、節(jié)約生產(chǎn)成本,目前多晶硅行業(yè)中尚無統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)的檢測(cè)方法.目前測(cè)定氯化氫的方法有離子色譜法,分光光度法,紅外光譜法,采用離子色譜法時(shí)需將氯化氫轉(zhuǎn)化為氯離子進(jìn)行檢測(cè),操作過程繁瑣,耗氣量大耗時(shí)長(zhǎng)等缺點(diǎn);采用分光光度法,操作繁瑣,誤差大,穩(wěn)定時(shí)間長(zhǎng)等;傅里葉紅外光譜法分析方法,回收氫氣中的其他氣體干擾其測(cè)定.基于以上原因所建立回收氫氣中氯化氫含量的測(cè)定氣相色譜法,對(duì)多晶硅生成管控產(chǎn)生重要意義.